HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312 簡介
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計(jì)/控制器
可售賣地
面議
價(jià)格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務(wù)
完善
產(chǎn)品簡介
HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。
HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的選擇。
HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312 詳情介紹
優(yōu)點(diǎn)：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確
即使壓差非常低，也使用精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個(gè)精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。質(zhì)量流量傳感器（可選）
通過應(yīng)用HORIBA STEC 質(zhì)量流量產(chǎn)品中成熟的流體控制技術(shù)，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測（帶質(zhì)量流量傳感器）以實(shí)現(xiàn)自診斷功能。
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合RoHS法規(guī)的零件
HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器GR-312產(chǎn)品規(guī)格
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