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HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡介

GR-511F壓力控制器可以控制用于冷卻由靜電卡盤系統(tǒng)固定在適當(dāng)位置的晶片背面的氣體。 GR-511F壓力控制器的穩(wěn)定性和精度使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的選擇。

HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器詳情介紹

優(yōu)點(diǎn)：
壓力控制更穩(wěn)定、更精確
質(zhì)量流量傳感器（可選）
兼容各種配件
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器產(chǎn)品規(guī)格

HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器參數(shù)

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