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日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡介

隨著半導(dǎo)體器件快速一體化的發(fā)展，越來越多的細(xì)節(jié)需要考慮其中，同時新的材料也被引入 300nm 晶圓制程以確保產(chǎn)品性能。在這樣的背景下，更多的液體被應(yīng)用到半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，流量需求不斷增大。作為該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，HORIBA STEC 提供了一整套的液體源汽化控制系統(tǒng)，利用加熱、直接注入、混合注入等不同方式確保平穩(wěn)有效的將氣體傳送到反應(yīng)室。自動供液系統(tǒng)能不間斷的安全可靠的傳輸液體，從而提高工作效率，同時有效降低了操作員的手動操作以及制程污染風(fēng)險。

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV(LV-F60-PO) 介紹

型號：LV-F60-PO
類型：控制器
電源：±15V
精度：±1% F.S.
測量范圍：5-100% F.S.
輸出方式：模擬: 0 to 5 VDC 數(shù)字: RS485
溫度：5to50℃ (精度保證15to45℃)
接液材質(zhì)：SUS316L, Ni, PTFE, PFA
量程g/min：50/100

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV 詳情介紹

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF-F

這是一款具備冷卻測試方式的液體質(zhì)量流量計，可精確檢測低沸點和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

提供超低微小流量檢測
抗壓性 : 10MPa
超潔凈

數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LV-F

這是一款具備冷卻測試方式的流量傳感器，可精確控制低沸點和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)控制低沸點和高粘度液體
抗壓性 : 1MPa
超潔凈

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場數(shù)字式液體質(zhì)量流量計LF/LV參數(shù)

關(guān)于進(jìn)佳儀器

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